罗茨鼓风机的逆流冷却通常是指从鼓风机或真空泵排气口引出一部分气体，将其冷却之后作为高压逆流气体引人机壳。 真空泵直排大气时，也可以将大气当作冷却气体直接引人机壳。
　　特点：
　　1、可以吸人高温气体。 采用空冷，吸人高温气体时，一般要通过前置冷却器将吸人气体冷却到40°C 左右。 采用逆流冷却时，气体温度即使在 120°C 也可直接吸人。
　　2、可以在较高的压力比下使用。 由于排气温度等因素的影响，罗茨鼓风机的压力比 一般不大于 2.0。采用逆流冷却时，排气温度下降，允许使用的压力比会增加。 实际应用中，鼓风机和真空泵的压力比分别是2.6和 4.4 左右。
　　3、可以保持干式输送特性。不采用注水冷却，同样可以做到湿式真空泵有的一个真空度。